供應(yīng)邦得凌陶瓷材料白色光阻劑
本品在玻璃基材與陶瓷基材上分別制作的陶瓷粉光阻材料,使用黃光制程制做的圖型。支持微細(xì)電子元器件的制造。
應(yīng)用用途
用于pet,玻璃,硅基傳感器,片式電感器上的白色負(fù)型光阻劑,主要支持黃光制程工藝制造。
1、性能與特點
外觀:白色不透明液體
粘度:依用戶用途可調(diào)
膠膜特性:成膜固化之后結(jié)構(gòu)致密,與玻璃/金屬/pet/陶瓷等基板結(jié)合緊密
顯影干凈:無殘留,支持5um制程
用于各類器件的白色光阻涂層。
我們通過先進(jìn)的材料技術(shù)將粒子尺寸微細(xì)化到200nm
本品在玻璃基材與陶瓷基材上分別制作的陶瓷粉光阻材料,使用黃光制程制做的圖型。支持微細(xì)電子元器件的制造
2、指標(biāo)參數(shù)
序號
項目名稱
指標(biāo)
參考標(biāo)準(zhǔn)
1
od值(1um)
2.3-3.0
分光光度計
2
方阻抗值
1.3*1014-16 ω/cm2
四探針儀
3
粘度值
5~100cp
粘度儀
4
成膜均勻性
4h
三菱鉛筆/750g硬度計
10
耐化學(xué)
浸泡1hr膜完好
ipa、nmp、gbl、tmah
3、工藝參數(shù)
1. 涂膠:旋涂,刮涂,印刷
2. 前烘溫度:90~110℃
3. 曝光:150-300mj/cm^2
4. 顯影時間: 50-70秒/ckb-amphbal2001,25-30℃
5. 后烘溫度:120~200℃, 30~60min
4、包裝及存儲
包裝: 1kg潔凈hdpe桶,加不透光包裝袋
貯存: 0~5℃避光保存;緊蓋封口,于通風(fēng)、陰涼處儲存;貯運(yùn)中避免日曬、雨淋、泄露;剩余產(chǎn)品密封存放
保質(zhì)期:3個月