氦檢漏服務-科創(chuàng)真空公司-槽車氦檢漏服務

噴氦法氦質譜檢漏方法
這是常用的一種方法，一般用于檢測體積相對較小的部件，將被檢器件和儀器連通，在抽好真空后，在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭，焊縫等) 用噴噴氦，槽車氦檢漏服務，如圖4 所示，氦檢漏服務，如果被檢器件某處有漏孔，當氦噴到漏孔上時，氦氣立即會被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴散到質譜室中，氦質譜檢漏儀的輸出就會立即有響應，使用這種方法應注意:氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出后會自動上升，為了準確的在漏孔位置噴氦，噴氦時應自上而下，由近至遠(相對檢漏儀位置) ，這是因為在噴下方時氦氣有可能被上方漏孔吸入，就很難確定漏孔的位置;再者漏孔離質譜室的距離檢漏儀反應時間也不同，所以噴氦應先從靠近檢漏儀的一側開始由近至遠來進行。
試漏壓力與運行過程中受到的較大壓力相同
許多密封件是在一定的壓力閾值下出現(xiàn)泄漏。如果未在運行過程的壓力下試漏，那么一些漏孔則不宜檢測出來。因此，在測漏過程中采用較高的測試壓力，可有效檢測出在實際運行中未出現(xiàn)的漏孔。
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背壓法氦質譜檢漏
采用背壓法檢漏時，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內部密封腔中，使內部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，壓縮機氦檢漏服務，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內，被檢產(chǎn)品內部密封腔內的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計算出被檢產(chǎn)品的等效標準漏率。
背壓法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，能實現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測，可以進行批量化檢測。
背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導致加壓時間太長。此外，每個測量漏率都對應兩個等效標準漏率，在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢，排除大漏的可能。
背壓法的檢漏標準主要有qj3212-2005《氦質譜背壓檢漏方法》、gjb360a-1996《電子及電氣元件試驗方法方法112 密封試驗》，主要應用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。
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